隨著微機電系統（MEMS）技術的迅速發展，越來越多的傳感器在向低功耗、微型化、集成化和智能化的方向發展，尤其近些年來伴隨消費電子、智慧家庭和智能穿戴等潛力市場的成長，不斷有新型傳感器出現，這些新型傳感器在工業、汽車和消費等主流市場都已經有騰飛的基礎。

MEMS微加熱芯片因其獨特的結構和性能，近幾年受到國內外廣泛關注，應用于熱學MEMS傳感器領域。其以半導體材料單晶硅為基材，結合貴金屬、多晶硅等加熱材料，利用微納米加工技術中的光刻、濺射、刻蝕等工藝步驟，形成懸空式的MEMS熱學結構。

蘇州甫一電子科技有限公司基于市場方面的迫切需求，結合公司團隊多年以來在MEMS傳感器領域中仿真、設計、工藝、封裝和測試等產品開發方面的技術和經驗積累，自主研發出具有低功耗、微型化和性能良好的MEMS硅基微熱芯片，為國內MEMS熱學傳感器的發展奠定了良好的基礎。

蘇州甫一電子科技有限公司具有強大的仿真、設計團隊，在結合多年從事MEMS器件仿真設計的基礎上，利用專業仿真設計軟件對MEMS微熱芯片進行了詳細的分析和設計，并可根據不同的客戶和用途進行專門訂制化設計開發。

目前公司的MEMS硅基微熱芯片已經形成系列標準化產品，并可以根據客戶需求進行定制化服務。

MEMS 硅基微熱芯片具有體積小、功耗低、易于集成等方面的優點，主要可應用于氣敏傳感器、紅外光源、微型溫度儀等方面。