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TEM窗格
尺寸規格
3 mm x 3 mm (窗口尺寸:0.5 mm,薄膜厚度:50 nm)
3 mm x 3 mm (窗口尺寸:1.0 mm,薄膜厚度:50 nm)
3 mm x 3 mm (窗口尺寸:1.0 mm,薄膜厚度:100 nm)?
邊框厚度: 200μm、381μm
Si3N4薄膜厚度: 50nm、100nm
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