中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微半導(dǎo)體”）發(fā)布公告稱(chēng)，擬對(duì)睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“上海睿勵(lì)”）進(jìn)行投資，金額為1375萬(wàn)元，投資完成后中微半導(dǎo)體持股上海睿勵(lì)股權(quán)比例約為10.41%。

資料顯示，上海睿勵(lì)是國(guó)內(nèi)集成電路工藝檢測(cè)設(shè)備供應(yīng)商，目前擁有的主要產(chǎn)品包括光學(xué)檢測(cè)設(shè)備、硅片厚度及翹曲測(cè)量設(shè)備及子公司宏觀缺陷檢測(cè)設(shè)備等。其自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲(chǔ)芯片上達(dá)到64層的檢測(cè)能力。

目前，上海睿勵(lì)的產(chǎn)品已成功進(jìn)入世界領(lǐng)先芯片客戶3D閃存芯片生產(chǎn)線，并取得7臺(tái)次重復(fù)訂單，是目前進(jìn)入該國(guó)際領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)唯一的國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備產(chǎn)品。

此前，通過(guò)投資國(guó)內(nèi)薄膜設(shè)備公司沈陽(yáng)拓荊科技有限公司，中微半導(dǎo)體在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進(jìn)行了布局，中微半導(dǎo)體指出，此次投資上海睿勵(lì)，是公司聚焦并落實(shí)高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟，將進(jìn)一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。?